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尾气处理：多余的HMDS蒸汽（尾气）将由底部真空泵抽出，背部1寸管路排除，品牌：慕泓DIM-4。排放到**废气收集管道。在无**废气收集管道时需做专门处理。设备配置试验室用电源设备及注意事项电源：AC220V50Hz电压允许变动范围：额定值的±5%（但是可运行的范围为±10%）（2）最大负荷容量：3KW（3）最大电流：15A（4）放置箱体时注意与墙面距离应大于300mm。特别要求：文档到指定的網絡路徑：透过txt或者csv抛档案到ip位置路径。然後他生產使用量监控要求：通过流量计+电池阀延时控制，量化气体，控制成本。剩馀量是从药水那边的液位监控,低位报警。HMDS药液流量需可卡控上下限，超出范围报警提醒，机台抛档使用TXT格式，数据：HMDS药剂流量，温度、压力、作业批号、作业人员工号、作业开始时间、结束时间、报警信息、制程信息。load/unload高度/方向：(上下货放cassette在机台上的高度/备注cassette放置于设备前方或左右侧）芯片传送方式：（具备cassetteincassetteout)上下货门需要能自动感测开启程序自动调档：（当cassette至于上货平台即能扫档带出该批货的程序自动执行）软件支持SEMI自动化标准SECS/GEM通讯接口常州无尘工业烤箱维保高温中温低温箱式气氛炉。

八.选材要求:选材品牌参照招标文件中品牌要求和投标文件中主要外购件清单序号名称类别制造商序号名称类别制造商1变频器台达/三菱18讯响器中国台湾2接触器及热保护开关施耐德19线材无锡南亚电缆3空气开关正泰/德力西20触摸屏威纶/三菱4光电开关OMRON/同等品牌21驱动电机及减速器欧邦/同等品牌5继电器及座OMRON22链条环球/汇利兴6微动开关OMRON23止挡器亚德客/同等品牌7行程开关OMRON24气动组件亚德客/同等品牌8可编程控制器三菱/OMRON25电磁阀亚德客/同等品牌9可编程控制器扩展三菱/OMRON26气缸亚德客/同等品牌10马达开关正泰/德力西27吸盘SMC/同等品牌11断路器正泰/德力西28电源插座飞雕12漏电保护附件OMRON29馈电子国产质量13按钮开关天逸30主线铝型材国产质量电泳处理14转换开关天逸3115急停开关天逸3216指示灯天逸3317直流电源明纬34

7、端子排应无损坏，固定牢固，绝缘良好，端子正面朝向应能保证运行或检修人员从柜外能看到端子两旁的号码管；8、配电箱上配有相应的电控图纸以便维修人查阅。9、PLC程序地址符号用中文标注且清楚明了，电控箱内有详细的IO地止使用及注解记录表;10、各段输送链、顶升装置、自动移行机构、必须设有手动和自动模式，可以联动也可以手动控制该设备。七.总体技术要求:1．线体结构为模块化拼装结构。2．线体有良好的接地保护,接地线线径应符合国家有关标准要求。3．生产线（包括各单机，以下同）总体布局合理，人流物流通畅能满足产品生产的工艺流程需要，并有充分的维修空间。4．生产线各运动部分运转灵活,平稳,安全,可靠,无爬行,跳动现象,无异常声音,工件无碰撞摆动现象.5．生产线各衔接部分,单机设备与生产线之间应衔接良好,工作节拍协调一至,且各单机的工作节拍应小于生产线的工作节拍。6．生产线整体设计为钢型材架结构,做到结构美观,牢固耐用,整体色调简洁明快.7．各驱动,传动部位润滑情况良好,无漏油现象.8．线体着色：按照客户提供色板确定9．输送周边过道部分安装黄色护栏,采用膨胀螺丝固定于地面.10.系统控制使用安全电压（DC24V）。冷卻隧道炉箱体冷却炉。

二、真空系统1.真空度:100Pa（附真空电阻计）2.真空度范围：100~0.1MPa，漏气量＜1.33KPa/H3.抽真空时间：≤3Min3.真空泵：为选配件，客户可自购（国产3相380V旋片真空泵配真空管阀一套不含过滤器）配2X-70真空泵4.抽真空采用自动，破真空采用手动三、精度1.温度范围：室温～200℃常用120℃2.仪表精度：±1℃3.温度均匀性：加热板表面温差±5℃四、温控系统1.控制方式：PID+SSR出力2.加热器材质：内置不锈钢加热器铝制加热板1.5KW?63.控制方式：触摸屏+PLC集中控制，可以实现抽气、充气任意循环设置。4.比较大升温速率：5℃/min5.测温体：K型感温组件,测温精确6.高温保护系统：当由于外力原因导致温度失控时，本系统会在超过设定温度10度时自动停止加热，从而保护你的产品及机器的安全。7.电气组件：日本欧姆龙中继，空开及交流接触器，集成固态继电器，中国台湾天得蜂鸣器，天得指示灯/按钮。无氧化烤箱QMO-8WS(双门双控）。泰州重型工业烤箱维保

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